飞秒激光加工最新研究进展
来源：机械工程学报杂志2016年第17期北京时间：
作者：肖荣诗, 张寰臻, 黄婷
单位：1. 北京工业大学激光工程研究院 北京 100124；2. 河北工程大学理学院 邯郸 056038
摘要：飞秒激光作为一种先进的加工技术，以其“冷加工”、多光子非线性效应、突破衍射极限等特质可实现对任意材料由微纳到宏观尺度复杂三维零件的精密加工，在微纳和精密机械、微纳电子、微纳光学、表面工程、生物医学等领域展露了巨大的市场应用前景。文章重点针对近三年来飞秒激光刻蚀、切割、制孔、功能表面制备、体内加工和聚合加工的研究进展进行综述，并探讨了飞秒激光在与材料相互作用机制、加工精度、加工方式、加工对象等方面面临的机遇和挑战。
关键词：功能表面,精密加工,刻蚀,双光子吸收,飞秒激光；
基金资助：* 北京市自然科学基金(KZ201510005003)和北京市“科技新星”计划(Z14104001814109)资助项目; 20151009收到初稿，20160701收到修改稿;
