金刚石线锯横向超声振动切割SiC单晶表面 粗糙度预测

来源：机械工程学报杂志2016年第19期北京时间：

作者：李伦, 李淑娟, 汤奥斐, 李言, 杨明顺

单位：1. 西安理工大学机械与精密仪器工程学院 西安 710048；, 2. 河南科技大学河南省机械设计及传动系统重点实验室 洛阳 471023；

摘要：把横向超声振动应用到金刚石线锯切割硬脆材料加工中，基于冲量原理分析了线锯横截面上不同位置处金刚石磨粒对工件的法向锯切力。应用压痕断裂力学理论，定量分析了在法向和切向载荷共同作用下磨粒下方中位/横向裂纹扩展的长度和深度。研究了振动磨粒在工件上间歇加载和卸载使横向裂纹优先扩展并抑制中位裂纹扩展的屏蔽效应。建立了横向振动线锯切割硬脆材料时线锯横截面不同位置处磨粒的材料去除模式模型，得到了横向振动线锯切割硬脆材料晶片表面粗糙度的预测公式。以SiC单晶为切割对象，进行普通线锯和横向超声振动线锯切割对比试验，测定线锯的锯切力和晶片表面粗糙度，并对表面形貌进行观察。结果表明，横向超声振动线锯切割SiC是以脆性去除为主塑性去除为辅的混合材料去除模式;同等试验条件下，超声振动线锯切割能使晶片表面粗糙度降低25.7%。表面粗糙度测试结果与理论预测具有较好的一致性。

关键词：SiC单晶,表面粗糙度预测,超声横向激振,振动切割,中位/横向裂纹,金刚石线锯；

基金资助：* 国家自然科学基金资助项目(51175420); 20150923收到初稿，20160526收到修改稿;