压电超声换能器电负载调频特性研究
来源：机械工程学报杂志2017年第19期北京时间：
作者：王天圣, 吴志军, 冯平法, 张建富, 郁鼎文
单位：1. 清华大学机械工程系 北京 100084;2. 清华大学精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室 北京 100084
摘要：压电超声换能器由于具有较高的机械品质因数，因此对谐振频率的变化十分敏感。在负载、温度等工况因素影响下，超声换能器谐振频率会发生偏移，从而造成其出现工作性能下降甚至完全失效。提出一种电负载影响下的超声换能器等效电路，建立谐振频率与电负载的关系模型，并通过仿真以及试验进行验证。结果表明，这种电负载调频的压电超声换能器，可以有效地克服谐振频率偏移带来的性能损失问题，为新型超声加工系统的研制奠定了理论基础。
关键词：超声换能器,电负载,调频,有限元,振动特性；
基金资助：国家自然科学基金资助项目（51475260），北京市自然科学基金资助项目（3141001）。
