高能离子源清洗对AlCrN刀具涂层结构及性能的影响
来源：机械工程学报杂志2017年第24期北京时间：
作者：张世宏, 毛陶杰, 方炜, 蔡飞, 王启民, 张腾飞
单位：1. 安徽工业大学材料科学与工程学院 马鞍山 243002;2. 安徽工业大学现代表界面工程研究中心 马鞍山 243002;3. 广东工业大学机电工程学院 广州 510006
摘要：采用自主研发的离子源增强多弧离子镀设备，研究涂层沉积前不同清洗工艺对基材表面粗糙度以及所制备的AlCrN涂层的表面形貌、硬度、膜基结合力、摩擦磨损和切削性能的影响。研究结果表明，高能Ar+清洗可以更有效清洁基材表面。与传统弧源清洗技术相比，经高能离子源清洗后的基体表面粗糙度降低，沉积态涂层的表面粗糙度更低。相比于传统弧源清洗工艺，高能Ar+清洗可以显著提高膜基结合强度，达到48.7 N，摩擦因数和磨损率均降低，涂层刀具寿命提高了3倍。
关键词：AlCrN涂层,离子源清洗,磨损,切削；
基金资助：国家自然科学基金（51305002，51275095，51522502）和安徽省自然科学基金（1408085QE92）资助项目。
