典型位移传感器分类研究与时栅传感器特点分析

来源：机械工程学报杂志2018年第10期北京时间：

作者：彭东林, 付敏, 陈锡侯, 刘小康, 汤其富, 武亮

单位：1. 重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心 重庆 400054;2. 重庆理工大学时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室 重庆 400054

摘要：对现有广泛使用的主要位移传感器和全新原理的时栅位移传感器，按其测量基准、测量原理、数学模型和刻划媒介等方面的不同进行了科学分类，分析其间的联系与差别、优势与不足、各自适用的场合等技术特征。介绍时栅在测量原理上的先进性，经权威部门——中国测试技术研究院检定：目前圆式、直线式时栅的测量精度分别达到±0.8″、±0.5 μm/m，分辨力分别达到0.1″、0.1 μm。为了使时栅的测量精度向纳米级测量精度迈进，对基于电场和光场原理的纳米时栅进行了分析。另外对时栅的衍生技术-寄生式时栅及其在极端特殊环境下的应用前景进行了简单介绍。

关键词：光栅,时栅,位移传感器,旋转变压器；

基金资助：国家自然科学基金（51475063，51675071）、重庆市科委（sy40002）和重庆市“两江学者”计划资助项目。