类金刚石薄膜摩擦学性能影响因素及改善措施的研究进展

来源：机械工程材料杂志2022年第10期北京时间：

作者：周琼, 温亚东, 张而耕, 黄彪, 李耀东, 梁丹丹, 陈强

摘要：类金刚石（diamond-like carbon，DLC）是一类含有金刚石结构（sp3杂化键）和石墨结构（sp2杂化键）的亚稳态非晶物质，具有高硬度、耐腐蚀、低摩擦因数、耐磨损等优良特性，但也存在着由于制备工艺、沉积参数等不同导致的内应力大、热稳定性差、摩擦学行为敏感等问题，大大限制了其产业化应用。从固有因素和外界因素2个方面综述了影响DLC薄膜摩擦学性能的因素，从异质元素掺杂、表面织构化等方面论述了改善DLC薄膜摩擦学性能的措施，展望了DLC薄膜摩擦学性能研究趋势。

关键词：DLC薄膜, 摩擦学性能, 影响因素, 表面织构, 元素掺杂