微米尺度压痕测试设备的研发及其可靠性
来源：机械工程材料杂志2022年第2期北京时间：
作者：伍杰, 孙坤, 马增胜
摘要：基于Oliver-Pharr方法和断裂韧度测试方法成功研制了一台微米尺度压痕测试设备,使用有限元方法对其机械可靠性进行验证,并利用该设备测试了高纯铝和氧化锆陶瓷的力学性能参数,验证设备的测试性能。结果表明:所研制的微米尺度压痕测试设备结构稳定,设计合理,闭环控制稳定性好,噪声水平较低,满足测试要求。采用该设备在不同压入载荷下测得高纯铝及氧化锆陶瓷的硬度、弹性模量以及断裂韧度与使用标准压痕设备测试得到的结果一致,相对误差小于7%,证明了该设备测试结果的准确性。
关键词：压痕测试设备, 有限元方法, Oliver-Pharr方法, 力学性能参数
