新型无铅Na0.5Y0.5TiO3铁电薄膜的制备及性能

来源：机械工程材料杂志2018年第5期北京时间：

作者：刘修锋, 葛洋洋, 葛大勇, 李佳慧, 郭聪, 代秀红, 刘保亭

摘要：采用射频磁控溅射法在001取向的掺铌钛酸锶（Nb：STO）单晶衬底上制备Na0.5Y0.5TiO3（NYT）铁电薄膜，研究了该铁电薄膜的物相组成、显微结构、铁电性能、电输运性能。结果表明：NYT薄膜具有001取向的外延结构，其表面平整，界面清晰，结晶质量良好；NYT薄膜具有铁电性能，其剩余极化强度为0.3 μC·cm-2，矫顽场为178 kV·cm-1；NYT薄膜/电极界面存在肖特基势垒，反偏状态的肖特基结能够显著降低NYT薄膜的漏电流密度，提高其耐压强度，肖特基结处于正偏状态时的电流传导符合陷阱态控制的空间电荷限制电流机制。

关键词：外延生长, 电滞回线, 压电响应, 肖特基势垒