碳含量对电弧增强反应磁控溅射方法制备BCN薄膜热稳定性的影响
来源：机械工程材料杂志2017年第10期北京时间：
作者：陈向阳, 张瑾, 黄润, 马胜利
摘要：利用电弧增强反应磁控溅射（AEMS）方法在高速钢基体上制备了BCN薄膜，通过改变石墨靶功率来调整BCN薄膜中碳元素的含量，采用傅里叶变换红外光谱仪、高分辨透射电镜、显微硬度计和划痕仪等设备研究了BCN薄膜的热稳定性。结果表明：BCN薄膜在高温下具有较好的热稳定性；随着碳含量的增加，高温退火后BCN薄膜原子排列的有序度增加，部分结合键发生转化或分解，结合力下降，BCN薄膜的热稳定性降低。
关键词：电弧增强反应磁控溅射, BCN薄膜, 热稳定性
