脉冲负偏压幅值对复合离子镀制备TiCN薄膜结构和性能的影响

来源：机械工程材料杂志2017年第1期北京时间：

作者：任鑫, 赵瑞山, 黄美东, 张翀翊, 王乾宝

摘要：采用复合离子镀技术，在不同脉冲负偏压幅值下于304不锈钢表面制备TiCN薄膜，研究了负偏压幅值对薄膜成分、结构、表面粗糙度、显微硬度及摩擦磨损性能的影响。结果表明：随着负偏压幅值升高，钛、碳与氮元素的原子比以及碳与钛元素的原子比先增大后减小，薄膜表面的颗粒及针孔、凹坑等缺陷尺寸减小，数量减少，表面形貌得到改善；薄膜主要由TiCN相组成，随着负偏压幅值增大出现（111）晶面择优取向，且薄膜的显微硬度先增大后减小，并在负偏压幅值为300 V时达到最大，为2 690 HV；薄膜的摩擦磨损性能优于基体的，随着负偏压幅值增加，薄膜的摩擦因数不断降低，在负偏压幅值为300 V时约为0.355，此时薄膜的摩擦磨损性能最优。

关键词：脉冲负偏压幅值, TiCN薄膜, 摩擦磨损性能