衬底温度对低温制备铜铟镓硒薄膜结晶性能的影响

来源：机械工程材料杂志2015年第8期北京时间：

作者：曹章轶, 吴敏, 张冬冬

摘要：采用低温三步共蒸发法在柔性聚酰亚胺衬底上制备了铜铟镓硒(CIGSe)薄膜, 利用扫描电子显微镜和X射线衍射仪表征了CIGSe薄膜的结晶质量和晶体结构, 探讨了低温沉积工艺中第二步和第三步衬底温度与薄膜晶粒尺寸、织构取向和结晶性能的关系。结果表明: 随着第二步和第三步衬底温度同时升高, CIGSe薄膜的晶粒尺寸逐渐增大, 镓的两相分离现象逐渐消失; 保持第二步衬底温度不变, 随着第三步衬底温度进一步升高, CIGSe薄膜的晶粒尺寸继续增大, 薄膜的结晶质量显著改善; 第二步和第三步衬底温度的变化对CIGSe薄膜的织构取向基本没有影响。

关键词：铜铟镓硒薄膜, 衬底温度, 低温生长, 结晶质量