阳极氧化法制备TiO2薄膜的力学性能与摩擦磨损性能

来源：机械工程材料杂志2015年第5期北京时间：

作者：龙东平, 薛建荣, 晏智鑫

摘要：在不同的电解液体系中,利用阳极氧化法在TC4钛合金基体上制备了不同形貌的TiO2薄膜,分析了电解液体系及电压对薄膜形貌的影响;测试了薄膜的显微硬度、弹性模量和摩擦磨损性能.结果表明:TiO2薄膜的形貌与电压、电解液密切相关,电压过小或过大时薄膜形貌呈非纳米管结构,在HF溶液及含F-的无机电解液中,电压在10~20 V时,薄膜形貌呈有序的纳米管状;在含F-的有机电解液中,当电压为40 V时,薄膜呈纳米弹簧结构;非纳米管结构薄膜的显微硬度大,弹性模量高,耐磨性不佳;纳米管的管径与壁厚的比值越小,薄膜的力学性能和耐磨性越好;纳米弹簧状薄膜的显微硬度和弹性模量皆较小,摩擦因数高,磨损量大.

关键词：阳极氧化, TiO2薄膜, 力学性能, 摩擦磨损性能