刚柔耦合定位平台结构-运动-控制一体化建模

来源：计算力学学报杂志2023年第3期北京时间：

作者：邓毅,陈旭,黄平,段明磊,黄观新

单位：桂林师范高等专科学校 物理与工程技术系, 桂林 541199,桂林师范高等专科学校 物理与工程技术系, 桂林 541199,桂林师范高等专科学校 物理与工程技术系, 桂林 541199,广西大学 机械工程学院, 南宁 530004,广东工业大学 省部共建精密电子制造技术与装备国家重点实验室, 广州 510006

摘要：针对微电子制造行业等领域中的长行程高精度定位问题，提出了一种刚柔耦合定位平台，并建立了其结构-运动-控制一体化动力学仿真模型。首先，根据刚柔耦合定位平台的结构特点对浮动坐标法进行修改，建立了简洁高效的动力学仿真模型。其次，结合动力学模型、3阶S型曲线和经典的PID控制方法建立了结构-运动-控制一体化仿真模型。最后，通过数值算例对仿真模型的有效性进行了验证。数值模拟结果显示，建立的结构-运动-控制一体化仿真模型能够有效地对定位平台的工作过程进行模拟，为后续的结构优化、运动规划和控制系统设计等工作创造条件。

关键词：刚柔耦合定位平台,动力学,结构设计,运动规划,控制系统,

基金资助：国家自然科学基金（11702065）资助项目.