基于概率密度PCA的多模态过程故障检测

来源：计算机应用研究杂志2019年第5期北京时间：

作者：郭金玉,刘玉超,李元,

单位：沈阳化工大学信息工程学院,沈阳110142；

摘要：为了提高故障检测和分类能力，提出基于概率密度PCA的多模态过程故障检测算法。对各模态的训练数据建立PCA模型，计算各个模型的控制限和匹配系数。根据匹配系数计算各模态统一的控制限。对新来的数据，运用概率密度确定其模态。新来数据向对应模态的模型上投影并计算统一的统计量，比较统计量与控制限进行多模态过程故障检测。把该方法应用到数值例子和半导体过程中，仿真结果表明，该算法在分类及多模态过程故障检测方面具有很高的准确性。

关键词：多模态过程,故障检测,概率密度,主元分析,匹配系数,

基金资助：国家自然科学基金重大项目(61490701)；国家自然科学基金资助项目(61174119)；辽宁省教育厅重点实验室项目(LZ2015059)；辽宁省自然科学基金资助项目(201602584)；辽宁省教育厅项目(L2016007,L2015432)；；