基于PXI的空气主轴回转及倾角误差测试系统设计

来源：计算机测量与控制杂志2015年第8期北京时间：

作者：周继昆,张荣,张毅,凌明祥

摘要：在对高精度精密离心机性能进行评价时,离心机空气主轴的回转误差和倾角误差是两个关键的考核指标；为了能够同时对空气主轴的回转误差和倾角误差进行测量,在三点法回转误差测量与分离技术的基础上,提出了一种两层三点法回转误差测量方法；针对该方法,设计了测试系统的软硬件结构,并基于PXI总线搭建了测试系统的硬件部分,在Labview开发环境下开发了误差测量与分离软件；利用该系统对在10-6级精密离心机的空气主轴回转级倾角误差进行了测试,验证了所提方法的有效性和可行性。

关键词：气浮主轴;回转/倾角误差;两层三点法; PXI

基金资助：国家重大科学仪器专项(2011YQ13004702)资助。