一种探针台自动定位方法的研究与实现

来源：计算机测量与控制杂志2016年第2期北京时间：

作者：黄金兰,赵明宇,刘烽

摘要：探针台希望在上片后无需人工对准,就能从晶圆的第一个晶粒(第一点)开始检测,然而晶圆上片后,探针下方的开始位置往往并不是第一点；为了让第一点快速的移至探针下方,对平台的运行轨迹进行了研究,提出了螺旋定位法的概念,以平台上开始位置为中心,螺旋式步进运行,配合镜头的图像识别技术,一步一识别,逐步扩大范围,直至在镜头视野中找到晶圆中唯一的特殊晶粒(特殊点)；由于第一点与特殊点的位置相对固定,所以找到了特殊点即找到了第一点；此方法经过算法分析及整合编程后,进行了多次试验,并交付客户使用,第一点都能快速移至探针正下方且长时间运行稳定；此自动定位方法不仅节省了人力成本,提高了定位精度,又大大地提升了探针台的工作效率。

关键词：探针台;晶圆;螺旋定位;第一点;特殊点