精密离心机动态半径测试方法研究与实现

来源：计算机测量与控制杂志2016年第6期北京时间：

作者：周继昆,张荣,张毅,王珏,凌明祥

摘要：为了对精密离心机动态半径进行有效的测量,提出了一种基于外基准的定点定位测量方法,并利用电容测微仪、24位高精度PXI数据采集卡搭建了动态半径测试系统；在测试过程中,首先对离心机动态半径数据进行等角度采样,然后精确提取精密离心机定位平台所在的转盘外边缘的局部数据,再将不同转速下的局部数据进行点对点的比较,计算出动态半径；对测量结果的不确定度进行了评定,评定结果表明,文中提出的测试方法能够实现对精密离心机动态半径较高精度的测量,测量精度可达0.085 μm。

关键词：精密离心机;动态半径;PXI数采

基金资助：国家重大科学仪器专项(2011YQ13004702)。