微机械电容式加速度计读出电路研究与设计

来源：计算机测量与控制杂志2020年第8期北京时间：

作者：段王楠,马宗方,张兴成

单位：西安建筑科技大学

摘要：为了提高电容式MEMS加速度计测量精度，设计了一种应用于MEMS加速度计微弱信号读出电路。读出电路由T型阻容网络放大电路、模拟开关解调电路和四阶带通滤波电路组成，通过Multisim软件仿真分析各模块电路原理并确定影响读出电路的主要因素，进一步优化确定元器件最佳参数，最后制作出PCB电路板并开展实验测试，实验结果表明微弱信号检测准确率达90%以上，能很好满足电容式MEMS加速度计微弱信号检测要求，同时该读出电路具有尺寸小、易调节、易于ASIC集成等特点，在微机械仪表的微小电容检测中有较高的实用价值。

关键词：MEMS加速度计;微弱信号;电容检测;读出电路

基金资助：国家自然科学基金项目（面上项目，重点项目，重大项目）