薄膜热电极尺寸效应分析及试验研究

来源：计算机测量与控制杂志2021年第4期北京时间：

作者：刘泽元,苏新明,葛兴涛,朱 熙

单位：北京卫星环境工程研究所

摘要：薄膜型热电极作为薄膜热电偶结构的核心部位,其尺寸设计对热电偶功能及性能的实现起着重要作用。文章研究了热电偶电极薄膜的尺寸效应,建立了薄膜热电偶热电及热传导机理数学模型,分析了热电极尺寸对热电偶静态及动态特性的影响,设计并制作了不同尺寸规格热电极的薄膜热电偶,对热电极的尺寸效应物理性能开展了试验研究,试验结果表明热电偶电极薄膜厚度与动态响应时间呈正相关,长度、宽度、面积等尺寸参数对热电偶特性无明显影响,为薄膜热电偶电极尺寸设计提供了理论基础与工程依据。

关键词：薄膜热电极;尺寸效应;塞贝克系数;响应时间;物理试验

基金资助：装备发展部“十三五”装备预研领域基金重点项目(6140923020301)