基于相关峭度反卷积逆滤波器的薄膜生产线故障监测

来源：计算机测量与控制杂志2021年第6期北京时间：

作者：黄卓群,杨光永,程满,刘叶,徐天奇

单位：云南民族大学电气信息工程学院

摘要：在薄膜生产的过程中，由于模块或者部件的失效会产生随机故障。为了减少故障的发生，保证设备能够安全高效运行，通过对关键的机组振动进行采样分析，采用基于相关峭度的故障检测方法，设计最大三阶相关峭度(M3CKD)反卷积逆滤波器，以采集到的实时数据序列的三阶相关峭度最大作为代价函数，提取并识别机组振动信号峰值，进行故障信号识别与定位。算法性能验证结果表明该算法的可行性及可操作性，并且算法有较快的收敛速度和较好地稳定性，能有效地识别故障信号，适用于实际的薄膜生产线工业生产过程。

关键词：薄膜 最大三阶相关峭度反卷积 代价函数 故障点识别与定位

基金资助：国家自然科学基金项目