非侵入式激光探针装备故障注入技术研究及应用

来源：计算机测量与控制杂志2021年第8期北京时间：

作者：张西山,马英起,闫鹏程,连光耀,李会杰

摘要：针对装备大规模集成电路测试性验证与评估需求，突破传统方式的故障注入难、耗资耗时等限制，开展半侵入式装备激光探针故障注入技术研究及应用。首先，研究了装备传统物理故障注入技术，分析了脉冲激光瞬态故障注入方式的可行性及作用机理；然后，建立了脉冲激光瞬态故障注入的能量传输模型，提出了基于单光子吸收机制的脉冲激光等效LET计算方法；最后进行了试验验证。试验表明，该方法成功实现了典型故障模式的准确复现，可精确定位芯片内薄弱部位以指导装备优化设计。

关键词：半侵入式;激光探针;故障注入;装备

基金资助：国防预研基金重点项目：开放式多功能装备嵌入式故障诊断与维修（61400040302）