基于激光干涉仪对天文底片扫描仪气浮式运动平台的性能测试

来源：计算机测量与控制杂志2021年第12期北京时间：

作者：王亮亮,商正君,郑立新,杨美婷,杨静,赵建海,于涌

单位：中国科学院上海天文台

摘要：为推进国际天文底片数字化工作，上海天文台正在开展高精度天文底片专用扫描仪的研制。两轴线性运动平台是高精度天文底片扫描仪的核心部件，需要对其各项参数进行标准化测试，以获取其对天文底片数字化精度的直接影响。基于激光干涉测量原理，使用RENISHAW XL80激光干涉仪搭建测量光路，对正在研制的天文底片扫描仪所用气浮式运动平台关键性能进行了测试。结果表明，在350mm×350mm工作范围内，气浮式运动平台载物台的定位重复精度优于0.025μm，直线度和平面度优于0.3μm，俯仰角和偏摆角误差小于0.3″。该平台满足高精度天文底片扫描仪设备的研制需求，测试结果不仅可为扫描仪设备的整体性能评估提供参考，也可为后续的位置系统差补偿提供依据。

关键词：激光干涉仪;气浮式运动平台;天文底片数字化;底片扫描仪;运动自由度

基金资助：国家自然科学基金(12073062)；国家重点研发计划政府间国际科技创新合作专项(2021YFE0103400)资助.