基于光纤多波长激光器的相位延迟高精密测量系统设计

来源：计算机测量与控制杂志2022年第1期北京时间：

作者：马文斌,张海庆

单位：贵州民族大学

摘要：针对当前相位延迟测量系统，缺少对入射光源的分析，导致不同波长光源对应平移量误差大，造成相位延迟测量精度低的问题，设计了基于光纤多波长激光器的相位延迟高精密测量系统。通过分析光纤散射原因，选取532nm半导体激光作为系统光源，采用伺服电机为系统供电，使用SGX5528光电探测器实现光转换为电，从而获得不同位置间的电位差。利用聚乙烯醇薄膜拉伸型人造偏振片，使入射的纵光或横光具有起偏特性，并测量偏振片的透振方向和横轴夹角，完成系统硬件设计。设置两束激光光源，调整偏振棱镜，使光强输出达到最大值，并利用直接测量法，计算待测波片的相位延迟，通过调整电光调制器晶轴方位，保证光束垂直入射到器件表面，完成系统软件设计，实现相位延迟高精密测量。实验结果表明，该系统在L0、L1、L2位置下的平移量误差分别为0.008mm、0.0071mm、0.002mm，均小于理想允许误差，能够有效提高相位延迟测量精度。

关键词：光纤多波长激光器;相位延迟;高精密测量;测量系统