基于机器视觉的硅锭端面隐裂检测方法

来源：计算机测量与控制杂志2023年第4期北京时间：

作者：朱毅,嵇小辅

单位：江南大学

摘要：硅锭在生产过程中难以避免有端面隐裂的发生,严重影响生产线的安全性能和生产效率,为此提出一种改进背景差分算法的硅锭端面隐裂自动检测方法和系统。首先,分析端面隐裂的特点,采用中值滤波来对图像进行预处理;其次,采用图片样本库训练得到背景图像并对常用差分算法进行改进，在对图像进行差分的同时增强隐裂缺陷；再根据隐裂缺陷的最大比例不超过10%进一步去除差分图片中的大部分背景点；最后再提取隐裂缺陷区域,对区域进行连通域分析并根据缺陷区域面积来判断端面是否隐裂。仿真结果和现场实践表明,该方法对硅碇隐裂的识别准确率达96.4%,召回率达98.5%，识别时间低于200ms,很好地满足现场运行的需求。

关键词：背景差分;硅锭;隐裂缺陷;自动检测;连通域分析;