集成电路综合自动测试系统硬件平台设计

来源：计算机测量与控制杂志2023年第7期北京时间：

作者：冯建呈,王占选,闫丽琴,殷晔,尉晓惠,王红宇,吴朝华

单位：北京航天测控技术有限公司

摘要：针对当前国内集成电路产业快速发展的现状，通过分析集成电路测试需求，研制了国产超大规模集成电路综合自动测试系统硬件平台。首先设计了基于PXIe总线的硬件平台总体架构方案，其次研制了包含数字测试模块等高性能PXIe测试仪器，进一步构建了测试头等分系统并完成系统集成。采用高性能外部仪器和自检校准分系统，对硬件平台进行了指标测试。基于BM3110MPB开展了测试验证。验证结果表明，硬件平台数字测试单通道最高测试速率为1600Mbps、DPS可实现最大输出电压12V、最大输出电流800mA，具备连接性测试、功能测试、直流参数与交流参数测试等功能。该硬件平台未来可有效满足国产超大规模集成电路测试需要。

关键词：集成电路测试;自动测试系统;PXIe总线;数字测试;测试头