面向视觉伺服的芯片图像Zynq预处理系统

来源：计算机测量与控制杂志2024年第11期北京时间：

作者：景鹏阁,龚时华,周丹宇,于思恂

单位：华中科技大学 机械科学与工程学院

摘要：晶圆芯片定位精度直接影响到芯片制造的效率和质量，视觉伺服作为一种实时控制方法，引入了视觉反馈，不仅能够保证芯片定位精度还具有良好的鲁棒性。同时图像处理的实时性对视觉伺服至关重要。传统的使用PC机和网线的图像处理方式实时性和准确性较差，为了提高这一过程中视觉反馈的精度和实时性，提出并设计了一套面向视觉伺服的芯片图像Zynq预处理系统。系统通过在Zynq PL端的片内设计和PS端的控制设计，对采集到的芯片图像进行去噪、Sobel处理，并给芯片粗定位，为芯片的伺服控制提供有效数据。经实验表明，该系统实时性强，位置识别稳定，达到设计要求。

关键词：芯片制造;Zynq;FPGA;视觉伺服;图像处理

基金资助：面向高端电子制造的运动平台视觉伺服高精定位控制研究