基于平面柔顺机构的<i>θ</i><sub><i>x</i></sub><i>θ</i><sub><i>y</i></sub><i>Z</i>微动台静力学分析及优化设计
来源：机器人杂志2016年第5期北京时间：
作者：魏华贤, 李威, 杨雪锋, 王禹桥, 王承涛
摘要：设计了基于平面柔顺机构的θxθyZ微动台．只考虑平面柔顺机构的平面内变形建立其静力学分析过程，对各支腿对动平台的作用进行独立分析．通过卡氏位移定理求得输入输出之间的转换关系，并建立了平面支腿位移放大比与结构尺寸的直接关系，基于遗传算法进行了结构尺寸优化．最后完成了样机有限元分析及实验研究，结果验证了分析及优化方法的可靠性，理论模型与有限元仿真及实验结果的误差分别小于4%和12%．
关键词：柔性铰链, <i>θ</i><sub><i>x</i></sub><i>θ</i><sub><i>y</i></sub><i>Z</i>微动台, 静力学, 尺寸优化
