一种新型大行程高精度并联微动机构的研究与分析

来源：机器人杂志2023年第2期北京时间：

作者：周亚杰, 李毅, 张凤奎, 李仕华

摘要：针对现有三平移微动机构存在的工作空间小、运动精度不高等问题，采用大行程柔性板簧与高精度缺口型柔性铰链相结合，提出了一种近似完全解耦的大行程高精度的3-PRC并联微动机构，并进行结构优化。采用矢量法得到机构的输入－输出关系，并给出该机构理论伴随运动误差。通过有限元仿真，对机构的放大比、伴随运动误差等性能进行评估。最后制作了样机、搭建了实验平台，通过实验测试验证机构的输出及解耦性能。结果显示，新型并联微动机构可以实现空间3维移动，机构的工作空间能达到188.75 μm×186.0 μm×185.12μm，最大伴随运动误差为5.6%。

关键词：大行程, 并联微动机构, 解耦, 3维移动