248 nm紫外显微镜微纳线宽校准方法的研究

来源：计量学报杂志2015年第1期北京时间：

作者：李琪,李伟,施玉书,高思田,李适,王鹤群,尹传祥

单位：中国计量科学研究院, 北京 100029

摘要：248 nm波长照明的紫外显微镜能够获得高达80 nm的光学分辨率,可以实现对掩模板的线宽和一维/二维栅格参数的测量。作为测量仪器的248 nm紫外显微镜需要对其进行校准。该显微镜测量范围在nm量级,校准使用400 nm一维栅格标准物质,通过对仪器不确定度和标准物质自身不确定度的评估,得到采集图像每个像素的扩展不确定度为0.178 nm,并给出了实际测量时的不确定度评价公式。

关键词：计量学; 248 nm; 紫外显微镜; 线宽校准; 栅格标准物质

基金资助：国家科学支撑计划课题（2011BAK15B01;2011BAK15B02）