基于DMD的并行共焦图像处理方法研究

来源：计量学报杂志2015年第2期北京时间：

作者：余卿,余晓芬,崔长彩,叶瑞芳

单位：1. 华侨大学 机电及自动化学院, 福建 厦门 361021; 2. 上海理工大学 光学工程博士后流动站, 上海 200093;

摘要：在并行共焦测量中,用于构造点光源阵列的光分束器件普遍存在参数固化、对不同测量对象适应性较差的缺点。将数字微镜器件（DMD）作为光分束器件应用于并行共焦测量,可以控制DMD构造柔性化点光源阵列,应对不同的测量场合。推导了DMD的空间光调制模型,规避了“泰伯效应“对并行共焦测量的影响,设计了可抑制光点横向漂移的远心光路,构建了基于DMD的并行共焦测量装置,对比了两种不同的并行共焦图像处理方法。实验结果表明,在没有设置高数值孔径物镜组的情况下,测量装置的纵向分辨率受到一定影响,但所设计的图像处理程序能够快速、准确地获取被测物面的形貌特征。

关键词：计量学; 并行共焦测量; 图像处理; 数字微镜器件; 点光源阵列

基金资助：国家自然科学基金（50775063）;
教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目（NCET-10-0116）;
福建省自然科学基金青年项目（2013J05078）