乐甫波的液体粘度传感研究

来源：计量学报杂志2015年第3期北京时间：

作者：王萌阳,陈智军,蒋玲,刘敬勇,童锐

单位：南京航空航天大学自动化学院, 江苏 南京 210016

摘要：利用部分波理论和边界条件精确推导,对“粘性液体/非压电薄膜/压电基底“3层乐甫波结构建模,分析得出随叉指周期变小,液体粘度灵敏度提高,传播衰减增大;随“薄膜厚度与波长之比“增大,液体的粘度灵敏度随之先减小再增大,液体密度灵敏度几乎为零。优化设计了以36°钽酸锂和SiO2为基底和薄膜的乐甫波器件,制作并测试实物,实验结果与数值仿真基本一致,表明了理论模型的正确性。

关键词：计量学; 乐甫波; 粘度; 液体传感; 层状结构

基金资助：国家自然科学基金（51475240）;国家自然科学基金（51005121）;航空科学基金（2014ZD52053）