柱面面形干涉测量

来源：计量学报杂志2015年第5期北京时间：

作者：于瀛洁,许海峰,彭军政

单位：上海大学精密机械工程系, 上海 200072

摘要：介绍了一种柱面面形干涉测量方法。该方法选用计算全息片作为柱面波转换器,能够将平面干涉仪出射的平面波转换成理想柱面波前,依此为基础,建立了柱面干涉测量系统,能够实现柱面的干涉测量。为了获得柱面的真实面形误差,分析了调整误差引起的失调像差,并给出了失调像差的分离方法。最后,以玻璃圆柱体为被测样本,对单孔径面形的重复性进行验证,20次测量结果峰谷值（PV）标准差为20.2 nm,为PV平均值的0.55％。

关键词：计量学; 柱面面形; 干涉; 柱面波转换器; 计算全息片; 调整误差

基金资助：国家自然科学基金（51175318）; 国家重大科技专项（2013ZX04006011-217）