计量型紫外显微镜微纳米线宽测量技术的研究

来源：计量学报杂志2015年第6期北京时间：

作者：尹传祥, 高思田, 赵贤云, 李琪, 施玉书, 李伟, 卢荣胜

单位：合肥工业大学, 安徽 合肥 230009

摘要：计量型紫外显微镜微纳米线宽测量技术是利用光电倍增管的光电转换效应,将线宽的光学信号转换为电信号,并利用后续信号采样处理电路,提取出线宽的轮廓信号。利用激光干涉仪等精密定位装置,搭建了一套线宽测量系统,对线宽标称值为3 μm的标准样板进行测量,得到的线宽测量值为3.025 μm,与标称值仅相差25 nm。实验表明:该方法可以准确地获取线宽的边界信号,实现线宽的准确测量。

关键词：计量学; 微纳米线宽测量; 计量型紫外显微镜; 光电倍增管

基金资助：国家科技部支撑计划（2011BAK15B01;2011BAK15B02)