大长度激光测量中阿贝误差消除方法的研究

来源：计量学报杂志2015年第6期北京时间：

作者：缪东晶, 李建双, 李连福, 赫明钊, 邓向瑞, 蒋远林, 康瑶, 张京燕

单位：中国计量科学研究院, 北京 100029

摘要：提出一种基于3路独立激光干涉仪消除大长度激光测量中的阿贝误差的方法,3路干涉仪的安装位置可布置成任意三角形。通过3路干涉仪的测量结果及被测仪器与3路干涉仪安装位置的几何关系,构造一路与被测仪器同光路的虚拟干涉仪,推导虚拟干涉仪的测长公式。该算法对干涉仪的安装位置无特殊要求,在实践中易于实现。为验证算法的有效性,依托于室内80 m大长度标准装置,通过改变被测仪器安装位置,在45 m范围内进行了3组不同的验证实验。实验结果显示消除阿贝误差后,残余的其它误差的最大值仅为1.10 μm,该算法可有效地消除阿贝误差。

关键词：计量学; 大长度; 阿贝误差; 激光干涉仪

基金资助：国家质量监督检验检疫总局科技计划项目（2013QK031）;国家质量监督检验检疫总局技术改造项目（2012NIM11）