二维纳米位移台测量系统的搭建和实验研究

来源：计量学报杂志2015年第6期北京时间：

作者：赵贤云, 高思田, 李琪, 卢荣胜

单位：合肥工业大学, 安徽 合肥 230009

摘要：研制了压电陶瓷(PZT)驱动叠加柔性铰链运动机构的二维纳米位移台。介绍了位移系统的结构并分析了位移系统的工作位移刚度,理论和仿真结果误差在6.3%以内。根据线性干涉仪原理构建了一套激光干涉测量系统,阐述了测量系统的布局及位移测试原理并测量纳米位移台行程及定位准确性。实验结果表明:位移台在 100 μm 行程内,x轴和y轴的测试位移为99.6 μm和97.7 μm。同时分析了测试系统的误差来源并评估测量系统的不确定度,得到该测量系统x轴和y轴的合成标准不确定分别为10.04 nm和13.93 nm。

关键词：计量学; 纳米位移台; 激光干涉仪; 误差分析; 不确定度

基金资助：国家科技支撑项目（2011BAK15B01）