基于Qplus技术的AFM测头研究

来源：计量学报杂志2016年第2期北京时间：

作者：王志新,高思田, 李东升, 李琪, 李适, 李伟, 施玉书

单位：中国计量学院 计量测试工程学院, 浙江 杭州 310018

摘要：初步设计并组装了基于qPlus 技术的原子力显微镜（AFM）测头。使用石英音叉型力传感器替代了硅悬臂传感器,并设计了前置放大电路,研究了测头的频率特性,利用搭建的实验装置对测头的性能进行了测试。测试结果表明:该测头在频率调制（FM）模式下具有较高灵敏度。同时测头频率特性的研究显示探针及其粘接部位的质量是影响测头谐振频率的最主要因素。为qPlus-AFM测头的设计、组装及后续研究提供了经验和基础。

关键词：计量学; qPlus技术; 原子力显微镜; 石英音叉; 频率调制模式

基金资助：国家科技支撑计划（2011BAK15B01、2011BAK15B02）