微结构金属膜环带片电磁聚焦优化设计方法

来源：计量学报杂志2016年第4期北京时间：

作者：刘涛,杨树明,蒋庄德

单位：西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室, 陕西 西安 710049

摘要：微结构金属膜环带片是一类新颖的微纳光子学元件,应用于超分辨光学聚焦、纳米显微成像、精密工程测量等。阐述了微结构金属膜环带片的通用、快速矢量优化设计方法,适用于线偏振光、圆偏振光、径向偏振光等典型矢量光束,可调制产生远场超分辨聚焦光斑和超细光针场。基于三维时域有限差分法进行了微结构金属膜环带片的严格电磁理论验证,能够精确模拟光场在微结构金属膜环带沟槽内部的散射传播过程。在深紫外至可见光波段,给出了λ/10～λ/6厚金属铝膜制备微结构环带片的经验选取方法。

关键词：计量学; 微结构; 超分辨; 矢量衍射; 偏振; 时域有限差分法; 优化设计

基金资助：基于本体的GPS信息语义互操作方法研究;中国博士后科学基金