平面光学元件平面度动态干涉拼接测量

来源：计量学报杂志2016年第5期北京时间：

作者：张小强,武欣,王伟荣,于瀛洁

单位：上海大学 精密机械工程系, 上海 200072

摘要：开展了基于动态干涉仪的平面光学元件平面度干涉拼接测量,并研究了影响测量和拼接的主要误差。用二级减振的方法来抑制环境中振动的影响;根据允许的变化条纹数来控制二维移动平台导轨精度。建立了以ZYGO公司的DynaFiz干涉仪为子口径采集仪器的干涉拼接系统,开展了单口径平面度测量及拼接实验,完成了200mm×300mm 平面光学元件的平面度测试,并与大口径干涉仪所测试的全口径测量数据进行比对,拼接结果的10次实验均方差为0.001λ(λ=632.8nm)。

关键词：计量学; 拼接测量; 平面度; 动态干涉仪; 平面光学元件

基金资助：国家自然科学基金（51175318）;国家重大科技专项（2013ZX04006011-217）