CMM尺寸测量的不确定度评定模型研究

来源：计量学报杂志2016年第5期北京时间：

作者：程银宝,陈晓怀,王汉斌,吴军,李红莉,徐磊

单位：合肥工业大学仪器科学与光电工程学院, 安徽 合肥 230009

摘要：研究了坐标测量机（CMM）尺寸测量的不确定度评定方法。建立了符合ISO国际标准的测量不确定度评定黑箱模型。利用测量系统分析的方法,对6项量值特性指标引入的不确定度分量进行量化分析或实验标定,依据产品几何技术规范给出了各不确定度分量的评定模型。最后,通过工件直径测量的不确定度评定实例验证该方法的可行性。实验结果表明CMM尺寸测量的不确定度主要来源是偏倚和线性,不确定度分量为1.88 μm,是所有其他分量合成的2倍以上,而温度补偿引入的不确定度分量仅为0.04 μm,在实际测量中可忽略不计。

关键词：计量学; CMM; 尺寸测量; 不确定度评定; 产品几何技术规范

基金资助：国家自然科学基金（51275148）;合肥工业大学青年教师创新项目(JZ2014HGQC0126)