计量型扫描电子显微镜测控系统研究

来源：计量学报杂志2016年第5期北京时间：

作者：张瑞军,高思田,李伟,陈本永,施玉书,李琪

单位：1. 浙江理工大学, 浙江 杭州 310018; 2. 中国计量科学研究院, 北京 100029;

摘要：为了解决扫描电子显微镜（SEM）在100 nm以下的微纳几何结构尺寸精确测量方面的不足,实现SEM测量值的量值传递与溯源,研制了一套计量型SEM测控系统。该系统主要由位移台运动控制模块、激光干涉位移测量模块和图像采集与处理模块组成,基于LabVIEW图形编程语言开发了测控系统上位机软件。对1 μm×1 μm二维栅格样品进行尺寸测量实验,结果表明,该计量型SEM测控系统运行稳定可靠,且在10 μm测量范围内的测量值示值误差优于10 nm。

关键词：计量学; 计量型扫描电子显微镜; 量值溯源; 运动控制模块; 激光外差干涉; 图像采集与处理; LabVIEW

基金资助：国家科技支撑项目(2011BAK15B02)