剪切压电陶瓷块微位移测量及非线性修正

来源：计量学报杂志2016年第6期北京时间：

作者：徐胜,石书丽,高思田,陈本永,李琪

单位：浙江理工大学 机械与自动控制学院, 浙江 杭州 310018

摘要：通过搭建的剪切压电陶瓷块微位移测量系统,进行了5个不同目标电压的剪切压电陶瓷微位移测量实验,对实验数据分别进行二阶、三阶、四阶最小二乘拟合后进行非线性修正实验,其中采用三阶最小二乘拟合进行修正时效果最好,其位移1 050 nm行程时最大非线性误差为3 nm。对所得三阶最小二乘拟合多项式的系数进行样条插值拟合,从而实现对不同目标位移的非线性修正,其中位移900 nm行程时最大非线性误差为4 nm,仅为原始非线性误差的11%。

关键词：计量学; 微位移测量; 剪切压电陶瓷块; 最小二乘拟合; 样条插值拟合; 非线性修正