宽带在片SOLT校准件研制及表征

来源：计量学报杂志2017年第1期北京时间：

作者：刘晨,吴爱华,孙静,梁法国

单位：中国电子科技集团公司第十三研究所, 河北 石家庄 050051

摘要：针对在片S参数校准,设计制作GaAs衬底SOLT校准组件,通过计算方法对校准组件中直通、开路、短路和负载校准件中偏置传输线的时延和损耗进行定义,运用基于NIST multiline TRL校准的测量方法对校准组件中开路校准件电容和短路校准件电感参数进行提取,结合直流电阻测试法测试负载阻值大小,实现对SOLT校准组件的完整表征。最后用自行研制并表征的SOLT校准组件校准在片S参数测试系统,通过测量无源器件验证校准效果,将测量结果与NIST multiline TRL校准后的测量结果比较,在20 GHz内传输幅度最大偏差0.1 dB,传输相位最大偏差3.5°。

关键词：计量学; 在片S参数; 校准件定义; SOLT校准; 在片阻抗标准