微纳坐标测量机间接校准方法的探究

来源：计量学报杂志2017年第1期北京时间：

作者：施玉书,高思田,宋小平,郭鑫,陈思文,皮磊,李伟,李琪,李适,王兴旺

单位：1. 天津大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072; 2. 中国计量科学研究院, 北京 100029;

摘要：针对微纳坐标测量机的高精度性能指标无法精确校准的问题,提出了一种间接校准的方案。使用量块及标准球板校准微纳坐标测量机的尺寸测量示值误差,用标准球校准仪器的探测误差。并对中国计量科学研究院的微纳坐标测量机进行了校准实验,实验结果表明,该仪器的尺寸测量示值误小于0.2 μm,探测误差仅为0.125 μm,校准结果均优于仪器的最大允许误差,验证了校准方案的合理可行性。

关键词：计量学; 微纳坐标测量机; 间接校准; 尺寸测量示值误差; 探测误差

基金资助：国家重大科学仪器设备开发专项（2011YQ03011208）