用于音叉式原子力显微镜的探针制备

来源：计量学报杂志2017年第1期北京时间：

作者：汪雅丽,熊艳艳,高思田,周砚江,施玉书

单位：浙江理工大学 机械与自动控制学院, 浙江 杭州 310027

摘要：建立了一种电化学腐蚀法钨探针制备系统,通过对电化学腐蚀过程中微弱电流信号的实时检测,实现对腐蚀电路快速通断的自动控制,断电时间0.3 ms。该系统制备出了具有与理想轮廓一致的指数形探针。分析了电解电压、电解液浓度与腐蚀电流的关系,得出腐蚀最佳参数。将石英音叉与钨探针粘接构成原子力显微镜测头,完成了调幅模式下的力曲线测试。实验结果表明:制作的钨探针满足原子力显微镜测头性能要求,音叉信号稳定,能识别10 nm的运动变化,为研制高性能音叉式原子力显微镜提供了实验技术基础。

关键词：计量学; 原子力显微镜; 钨探针; 石英音叉; 电化学腐蚀