Mirau干涉型微纳台阶高度测量系统的研究

来源：计量学报杂志2017年第2期北京时间：

作者：郭鑫,施玉书,皮磊,张树,李适,李东升,高思田

单位：中国计量大学计量测试工程学院, 浙江杭州 310018

摘要：为了实现纳米量级到微米量级的微观三维台阶样板高度的快速测量,在普通光学显微镜的基础上改造完成了一台微纳台阶高度测量装置,设计了整体硬件结构,编写了测量控制软件和数据处理软件,并结合Hilbert变换和小波变换实现三维表面形貌测量。使用不同高度的台阶样品进行测试,测试结果表明:系统测量准确度较高,测量重复性较好,垂直测量范围大于50 μm。

关键词：计量学; Mirau干涉; 微纳台阶高度测量; 三维表面形貌测量; 白光显微干涉; 光学显微镜

基金资助：国家重点研发计划（2016YFF0200602）; 中国计量科学研究院基本科研业务费（AKY1605）