新型一等移相量块干涉仪的研制
来源：计量学报杂志2017年第3期北京时间：
作者：张旭东,刘香斌,王世婕,王振华,吴月艳
单位：中国计量科学研究院, 北京 100029
摘要：研制了一台用于0.5～100 mm量块测量的新型移相量块干涉仪,分别以波长为633 nm和543 nm的两台稳频激光器作为测量光源,通过一根单模光纤引入到干涉仪内。高精密移相器实现5步移相干涉测量,CCD相机采集干涉条纹并计算干涉条纹小数,被测量块长度采用多波长的小数重合法计算。移相量块干涉仪的测量不确定度达到U=0.015 μm+0.07×10-6L(L为量块长度,mm)。
关键词：计量学; 量块测量; 移相干涉仪; 相位解包裹; 小数重合法
基金资助：中国计量科学研究院基本科研业务费（AKY1329,AKY1617）
