超精密光学镜片三维表面形貌参数评定方法研究

来源：计量学报杂志2017年第4期北京时间：

作者：吴乙万,任志英,高诚辉,林建兴,江伟

单位：福州大学 机械工程及自动化学院, 福建 福州 350116

摘要：分析了当前超精密光学镜片表面评定方法及其存在的不足,提出引用ISO 25178-2中规范的部分表面3D参数来表征精密光学镜片三维表面,找出光学镜片表面形貌与对应的光学性能存在的关系,并实现ISO对超精密光学镜片三维表面的评定。仿真实验表明:当光学镜片表面的高度服从高斯分布时,其评价光学系统性能的传递函数随着均方值的减小而增大。用实例说明ISO的部分三维参数对光学镜片三维表面可以很好地区分,利用新的综合评价方法评定光学镜片表面形貌具有一定的可行性。

关键词：计量学; 光学镜片; 三维表面形貌; 参数评定; ISO 25178-2; 传递函数

基金资助：国家自然科学基金(51375094）; 福建省自然科学基金（2015J01195）;清华大学摩擦学国家重点实验室开放基金（SKLTKF13B02）; 福州市科技局资助项目（2014-G-74）; 福州大学人才基金（XRC-1576）