计量型紫外显微镜实时焦点及倾角测量算法的研究

来源：计量学报杂志2017年第6期北京时间：

作者：高金阳,高思田,董明利,连笑怡,皮磊,舒慧

单位：北京信息科技大学 仪器科学与光电工程学院, 北京 100192

摘要：计量型紫外光学显微镜采用248 nm深紫外光源和高数值孔径物镜系统,工作距离和景深均很小,为实现清晰的成像,需要进行自动聚焦。因此研究了一种焦点及倾角测量算法,采用基于图像处理的自动聚焦方法,选择Tenengrad函数作为图像清晰度判据,进行清晰度评价。针对在扫描测量时标准样板倾斜与镜片可能会出现相撞的问题,提出了样板倾角测量方法来判断样板的倾斜方向和角度,从而确定物镜执行器的移动方向,实现物镜扫描成像过程中的动态对焦。

关键词：计量学; 紫外显微镜; 自动聚焦; 倾角测量算法; Tenengrad函数