一种基于多步法的高精密主轴回转误差分离算法

来源：计量学报杂志2018年第1期北京时间：

作者：乔凌霄,陈江宁,陈文会,张丽,田景志

单位：西北工业大学 电子信息学院, 陕西 西安 710072

摘要：论述了多步法回转误差分离算法的技术原理,提出了频域混合补偿法误差分离算法,通过分析采集到的误差数据中主轴回转误差、圆度误差等成分的频域特性,利用傅里叶变换得到误差的谐波分量,通过剔除、补偿等方式分离偏心误差、圆度误差,从而得到主轴回转误差,该算法能很好地解决谐波抑制问题。通过圆度仪在工作现场采集数据进行仿真分析,实验验证该方法的可行性,并用最小二乘法对结果进行评定。三、四、五步法得到的圆度误差评定值与厂家给出的圆度误差40 nm间的差分别为118 nm、113 nm、145 nm,而频域混合补偿法分离出的圆度误差评定值为54 nm,与40 nm仅相差14 nm,可以看出频域混合补偿法对误差的分离效果明显优于多步法的误差分离效果。

关键词：计量学; 主轴回转误差; 高精密主轴; 误差分离; 频域混合补偿法; 谐波抑制

基金资助：江苏省科委基金(N2015KE0006)