EL红外缺陷测试仪关键参量校准方法研究

来源：计量学报杂志2018年第2期北京时间：

作者：张可佳,张碧丰,熊利民,周桃庚,张俊超,孟海凤,蔡川,赫英威,李晓辉,王常世

单位：北京理工大学

摘要：基于空间频率响应测试方法,搭建了EL红外缺陷测试仪关键参量的校准装置。分析了对焦以及位置摆放对分辨率校准结果的影响;给出了便携式和固定式EL红外缺陷测试仪相应的测试方法及操作流程。提出了一种针对便携式的测试方法,可以实现无参考背景情况下的校准工作。基于该校准装置可对各类EL测试仪的分辨率参数进行校准,测量结果重复性较好。

关键词：计量学; EL红外缺陷测试仪; 空间频率响应; 分辨率; 校准

基金资助：国家863计划(2015AA050303); 国家国际科技合作专项(2015DFA60390); 中国计量科学研究院自筹基本科研业务费(23-AKY1712)